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可以实现更高效的光纤通信、数据中心和未来的量子计算机，图片来源：悉尼大学副教授Niels Quack

由悉尼大学的Niels Quack副教授领导的一个研究团队，开发了一项将光学和微电子机械系统（MEMS）结合在微芯片中的新技术，为创建微型三维相机和用于精密空气质量测量的气体传感器铺平了道路，包括它们在移动电话中的应用。这项新的微制造过程基于硅光子学，使用半导体制造技术，使光纤通信、传感器甚至未来的量子计算机得以实现更加节能的设备的新一代。

机械与机电工程学院的副教授Quack表示，这些光学MEMS是独特的，因为它们体积小、能耗低、速度快、支持广泛的光载波信号，光学损耗小。他说：“这是纳电子机械致动器首次被集成在标准硅光子学技术平台上。这是朝着成熟的大规模、可靠的光子电路集成MEMS迈出的重要一步。该技术正在为大规模生产做准备，具有3D成像用于自动驾驶汽车或新型光子辅助计算的潜在应用。”

他说：“目前类似技术消耗大量能量，占据芯片上大量的面积，也有很高的光学损耗。这使得在单个芯片上集成大量组件变得具有挑战性。”

“我们的硅光子MEMS技术克服了这些缺点，为光子集成电路的高效扩展提供了一条途径。”

该技术将推动微纳制造、光子学和半导体领域的知识发展，具有广泛的应用。包括用于自动驾驶汽车的LIDAR 3D感测的光束控制、可编程光子芯片，或用于量子光子学的信息处理。